设备名称
Lift-off, Scrubber设备
Wafer size：2-12英寸
衬底类型：硅片，或者掩膜版，MASK
衬底类型：硅片，或者掩膜版，MASK
清洗方式：高压水，溶液剂，铁氟龙刷
传送方式：可全自动，可半自动
适合工艺：Lift-off, Scrubber
分享到：
设备介绍
Scrubber，右名刷片机，对Wafer或者掩膜版进行清洗，相较于超声波水槽清洗，更能清洗有附着力的污染物，高压DI水可以用达到5000psi，配合特氟龙刷，可以保证表明完全清洁。
设备参数
PRODUCT NAME
| 设备名称 | Lift-off, Scrubber |
| 适用对象 | 蓝宝石，硅片，掩膜版，切好的wafer |
| 可实现平台 | 150/200CRS , 150RRE , 150RE/BE, SVG88/86 |
| spin motor | Servo motor |
| 可用溶剂 | NMP,丙酮，EBR |
相关产品
