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参加上海2020SEMICON
PE光刻机配件
匀胶显影机
PCT-200/150 CRS TRACK
6-8英寸匀胶显影机,包含HMDS单元,FFU,显影液温度控制,光阻温度控制等,用户包括加州伯克利大学,斯坦福大学等
GPP芯片全自动玻璃粉涂布机
全自动玻璃粉涂布机适用于GPP芯片玻璃粉光刻胶涂布工艺,可以保证工艺的稳定性,为市场上唯一实现量产的全自动玻璃粉涂布机。