设备名称
SVG88/86
Wafer size：2-6英寸
设备：Standard SVG88/86
设备：Standard SVG88/86
可选：master recipe
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设备介绍
SVG88/86作为半导体行业最流行最普遍的匀胶显影设备 ，被各个大厂采用
设备参数
PRODUCT NAME
| 设备名称 | SVG88/86 |
| 控制器 | CPU & I/O |
| Spin motor | DC MOTOR |
| Opions | VPC, CCR, MASTER RECIPE |
| upgrade | SMC VACUUM SW,SMC spin unit sol valve |
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