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设备名称
SVG88/86
Wafer size:2-6英寸
设备:Standard SVG88/86
可选:master recipe

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设备介绍
SVG88/86作为半导体行业最流行最普遍的匀胶显影设备 ,被各个大厂采用
设备参数
PRODUCT NAME
设备名称 SVG88/86
控制器 CPU & I/O
Spin motor DC MOTOR
Opions VPC, CCR, MASTER RECIPE
upgrade SMC VACUUM SW,SMC spin unit sol valve
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