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SVG88/86
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设备名称
SVG88/86
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Wafer size:2-6英寸
设备:Standard SVG88/86
可选:master recipe
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设备介绍
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SVG88/86作为半导体行业最流行最普遍的匀胶显影设备 ,被各个大厂采用
设备参数
PRODUCT NAME
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设备名称
SVG88/86
控制器
CPU & I/O
Spin motor
DC MOTOR
Opions
VPC, CCR, MASTER RECIPE
upgrade
SMC VACUUM SW,SMC spin unit sol valve
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