150RE
设备名称
150RRE
Wafer size:2-6英寸
适用衬底:Si /Sapphire/GaAs/SiC/Glass
衬底类型:方形,圆形
传送方式:轨道式
控制方式:PLC+PC
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设备介绍
PCT-150RE/BE是PicoTrack升级SVG88/86而来,用PLC+PC替代原先的CPU/IO,适用于1.0um以下工艺
设备参数
PRODUCT NAME
设备名称 150RE/BE
controller PLC+PC
spin motor servo motor
opions VPC,CCR,DEV TEMP CONTROL
适用工艺 各种工艺
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