设备名称
150RRE
Wafer size：2-6英寸
适用衬底：Si /Sapphire/GaAs/SiC/Glass
适用衬底：Si /Sapphire/GaAs/SiC/Glass
衬底类型：方形，圆形
传送方式：轨道式
控制方式：PLC+PC
控制方式：PLC+PC
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设备介绍
PCT-150RE/BE是PicoTrack升级SVG88/86而来，用PLC+PC替代原先的CPU/IO,适用于1.0um以下工艺
设备参数
PRODUCT NAME
| 设备名称 | 150RE/BE |
| controller | PLC+PC |
| spin motor | servo motor |
| opions | VPC,CCR,DEV TEMP CONTROL |
| 适用工艺 | 各种工艺 |
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