设备名称
150RRE
Wafer size：2-6 英寸
衬底类型：可适用软性衬底
衬底类型：可适用软性衬底
衬底形状：圆形/方形/扇形/三角形
传送方式：手臂式
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设备介绍
PCT-150RRE适用于各种特殊的衬底和特殊的工艺，采用PLC+PC控制。
设备参数
PRODUCT NAME
| 设备名称 | 150RRE |
| Spin motor | Servo motor |
| Opions | VPC,CCR,DEV TEMP CONTROL |
| 热板 | max 300℃ |
| wafer flow | by setting |
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