System Front 1
设备名称
150RRE
Wafer size:2-6 英寸
衬底类型:可适用软性衬底
衬底形状:圆形/方形/扇形/三角形
传送方式:手臂式
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设备介绍
PCT-150RRE适用于各种特殊的衬底和特殊的工艺,采用PLC+PC控制。
设备参数
PRODUCT NAME
设备名称 150RRE
Spin motor Servo motor
Opions VPC,CCR,DEV TEMP CONTROL
热板 max 300℃
wafer flow by setting
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