PG resist dispense
设备名称
全自动玻璃粉涂布机
Wafer Size:3-6英寸
适用工艺:二次涂布,玻璃粉工艺
可实现平台:150CRS, 150RE/BE
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设备介绍
功率器件生产中的玻璃粉涂布工艺,替代手动涂胶,实现全自动生产,极大提高工艺稳定性。
设备参数
PRODUCT NAME
设备名称 全自动玻璃粉涂布机
Spin motor 采用Servo motor
热板 配置热板
玻璃粉厚度 最大到60um,基于粘稠度
均匀性 可调3%以内@40um
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