设备名称
全自动玻璃粉涂布机
Wafer Size：3-6英寸
适用工艺：二次涂布，玻璃粉工艺
适用工艺：二次涂布，玻璃粉工艺
可实现平台：150CRS, 150RE/BE
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设备介绍
功率器件生产中的玻璃粉涂布工艺，替代手动涂胶，实现全自动生产，极大提高工艺稳定性。
设备参数
PRODUCT NAME
| 设备名称 | 全自动玻璃粉涂布机 |
| Spin motor | 采用Servo motor |
| 热板 | 配置热板 |
| 玻璃粉厚度 | 最大到60um,基于粘稠度 |
| 均匀性 | 可调3%以内@40um |
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